Научный руководитель: Трохин В.Е.

Отвественный исполнитель: Левин Ю.И.

Исполнители: научный коллектив АО "ЭКОС-1"

Сроки выполнения: 2024-2026 г.г.

Планаризирующие растворы Accuglass SOG-214 и SOG-211 применяются в микроэлектронике для межуровневой пассивации и нанесения верхнего слоя при производстве интегральных схем. Серия Accuglass T-14, представляющая собой семейство метилсилоксановых полимеров, специально разработана для заполнения узких (до 0,1 мкм) зазоров без пустот и планаризации структур ILD и PMD, используемых в устройствах с многоуровневой металлической разводкой (металлизацией). Особый состав раствора обеспечивает стабильную диэлектрическую проницаемость, высокую трещиностойкость, превосходные свойства заполнения зазоров и выравнивания отвержденной пленки.
Актуальность работы обусловлена прекращением поставок в Российскую Федерацию планаризирующих растворов Accuglass SOG-214 и SOG-211 иностранного производства. Российские разработки аналогичных материалов и их производство отсутствуют.
Мероприятие реализуется в соответствии с государственной программой Российской Федерации «Научно-технологическое развитие Российской Федерации», утвержденной постановлением Правительства Российской Федерации от 29.03.2019 № 377 в рамках комплексной программой «Развитие электронного машиностроения на период до 2030 года», утвержденной приказом Минпромторга России от 27.02.2024 № 766.

Исполнители: Акционерное общество Научный центр «Малотоннажная химия» (АО НЦ «Малотоннажная химия»)

Сроки выполнения: от 26.12.2024 г.

Руководитель работ: Ощепков М.С.

Исполнители: научный коллектив НЦ "Малотоннажная химия"

Сроки выполнения: 20.02.2024-31.08.2024 г.г.

Объектом разработки является технологии получения соли (калия бензоата) и сложного эфира (диэтиленгликольдибензоата) бензойной кислоты. Для достижения указанной цели необходимо создание опытно-промышленных линий производства соли (калия бензоата) и сложного эфира (диэтиленгликольдибензоата) бензойной кислоты.

Научный руководитель: Трохин В.Е.

Исполнители: научный коллектив АО "ЭКОС-1"

Сроки выполнения: 2021-2023 г.г.

Целью выполнения опытно-конструкторской работы (ОКР) является разработка технологий получения высокочистых изопропилового спирта (изопропанола) и сольвента (метоксипропилацетата) с контролируемым содержанием взвешенных частиц для микроэлектронных производств.

Научный руководитель: Бессарабов А,М,

Исполнители: Дикарева Юлия Михайловна,Степанова Татьяна Игоревна, Заремба Галина Александровна, Казаков Александр Александрович, Кочетыгов Алексей Леонидович, Квасюк Алексей Владимирович

Сроки выполнения: 2020-2022 г.г.

Объем финансирования: 3 млн. руб.

Создание в технологии особо чистых материалов теоретических основ системного анализа для жизненного цикла разработки и производства, позволяющих провести декомпозицию сложных химико-технологических систем по аппаратурно-технологическим признакам и системная классификация микропримесей, исходных реагентов и целевых продуктов. Разработка методологии и математического аппарата для анализа и выбора структуры производств особо чистых материалов.

Создание системной методологии синтеза гибких модульных производств особо чистых материалов. Разработка типовых аппаратурных модулей процессов глубокой очистки, из которых синтезируются гибкие производства: органических растворителей, триметилалкоксисиланов и неорганических кислот особой чистоты.

Разработка математических моделей индивидуальных и совмещенных процессов глубокой очистки кристаллизационными, ионообменными, адсорбционными, экстракционными, химическими и ректификационными методами с учетом изменения механизма процесса при переходе из области макро- в область микроконцентраций. Для прогнозирования дисперсности твердофазных особо чистых материалов разработка математических моделей процессов плазмохимического синтеза нанопорошков, а также процессов золь-гель перехода при интенсивной сушке в СВЧ поле, роторно-пленочных и распылительных аппаратах.

Системные исследования аналитического мониторинга особо чистых материалов. Разработка системы компьютерного менеджмента качества в следующих информационных сечениях: анализируемое вещество; показатели качества; методы анализа; аналитическое оборудование. Системный анализ показателей качества по кластерам: основное вещество, катионы металлов, анионы, взвешенные частицы. По каждому кластеру подбор перспективных методов анализа и аналитических приборов, с выделением важнейших узлов и характеристик, необходимых пользователю для выбора аналитического оборудования. Внедрение разработанной методологии при аналитическом мониторинге ассортимента органических растворителей и неорганических кислот особой чистоты.

Результаты работы являются составным элементом дальнейшего развития теории и практики химии особо чистых веществ в наиболее перспективных секторах науки и техники. Предложенные в работе теоретические обобщения позволят более оперативно и качественно разрабатывать перспективные технологии и материалы особой чистоты.

Производство необходимых науке и промышленности особо чистых материалов требует: создания теоретических основ системного анализа, позволяющих провести декомпозицию модульных подсистем основного производства и утилизации по аппаратурно-технологическим характеристикам;

создание системной методологии синтеза энерго- и ресурсосберегающих гибких модульных производств особо чистых материалов, на основе которой синтезируются 5 классов многоассортиментных производств алифатических углеводородов, кремнийорганических соединений, органических растворителей, неорганических кислот и оксидов особой чистоты;

для заводского комплекса особо чистых материалов создание типовой безотходной 7-ми стадийной системы водного хозяйства, включающей в себя локальные подсистемы оборотного водоснабжения, генерации пара, сбора-обработки конденсата и др.;

для гибких технологий жидкофазных целевых продуктов разработка индивидуальных и совмещенных процессов глубокой очистки кристаллизационными, ионообменными, адсорбционными, химическими, экстракционными и ректификационными методами;

для гибких технологий твердофазных дисперсных материалов особой чистоты разработка энергоэффективных процессов плазмохимического синтеза нанопорошков, а также процессов золь-гель перехода при сушке в СВЧ поле, роторно-пленочных и распылительных аппаратах;

разработка систем компьютерного менеджмента качества в информационных сечениях - анализируемое вещество, показатели качества, методы анализа и аналитическое оборудование; анализ показателей качества по кластерам - основное вещество, катионы металлов, анионы и взвешенные частицы; подбор по каждому кластеру перспективных методов анализа и приборов для ресурсосберегающего аналитического мониторинга.

Результаты работы являются новыми составными элементами дальнейшего развития теории и практики энерго- и ресурсосберегающей безотходной технологии особо чистых материалов в наиболее перспективных секторах науки и техники. Предложенные в работе теоретические обобщения позволят более оперативно и качественно разрабатывать перспективные технологии и материалы особой чистоты.